Вакуумный модуль предназначен для контролируемого удаления растворителя, концентрирования влажного слоя и мягкой сушки пленок без резкого поверхностного переохлаждения и без паразитной кристаллизации. Система рассчитана на подложки до 300 × 300 мм при толщине 1,1–3,2 мм, имеет вакуумную камеру из нержавеющей стали объемом 8 л, обеспечивает откачку от атмосферного давления до <10 Па за 10 с в пустой камере и предельный вакуум ≤0,5 Па. Управление скоростью откачки реализуется автоматическим пневматическим клапаном типа «бабочка», предусмотрена регистрация кривой давления для каждого цикла. Конфигурация оптимизирована для стабилизировании кинетики удаления растворителей ДМФ и ДМСО и формировать однородную морфологию пленки. Установка оснащена высокопроизводительным безмаслянным вакуумным насосом (ULVAC MS, Edwards GXS).