Leica ACE200 и ACE600

Вакуумная установка для напыления проводящих покрытий Leica ACE200 и ACE600

С помощью вакуумных установок Leica ACE200 и ACE600 можно с наносить мелкозернистые тонкие пленки, необходимые для электронно-микроскопического анализа. Точные, автоматизированные процессы нанесения углеродных и напыляемых покрытий дают воспроизводимые результаты визуализации электронной микроскопии.

Чтобы получить высококачественные изображения образцов с помощью сканирующей (СЭМ) или просвечивающей электронной микроскопии (ПЭМ), ваши образцы должны быть проводящими, чтобы избежать скопления заряда на образце.

В случае непроводящего (диэлектрического) образца происходит накопление отрицательного заряда в приповерхностной области. Это приводит к локальному изменению выхода вторичных электронов и отклонению первичного пучка от первоначальной траектории и искажению изображения (снижению детализации)

При большой величине накопленного отрицательного заряда электроны первичного пучка отклоняются, не попадая на образец. При этом заряженный участок образца играет роль зеркала для электронов, что приводит к формированию изображения окружающих деталей камеры микроскопа вместо изображения образца

Нанесение проводящего покрытия магнетронным напылением или электронным лучом к увеличению проводимости образца и удалению заряда с помощью заземления. Как правило, используется напыление в вакууме пленок благородных металлов, либо углерода. Необходимо помнить, что толщина покрытия должна быть существенно меньше, чем размер деталей образца, которые предполагается изучать.

Когда следует наносить углеродное покрытие?

Углеродные покрытия защищают образец, позволяют повысить контрастность ЭМ-изображения и могут служить в качестве ТЭМ-решетки для образцов небольшого размера.

Углеродные (C) покрытия обычно используются в качестве опорной пленки для просвечивающей электронной микроскопии (ПЭМ). Тонкие пленки углерода обычно имеют толщину несколько нанометров и наносятся на решетки ТЭМ. Они тонкие, прочные и прозрачные для электронов. Углеродное покрытие также используется в качестве защитного слоя.

Образцы могут быть покрыты золотом (Au), а также другими подходящими материалами, такими как платина (Pt) и золото/палладий (Au/Pd).

Нанесение покрытий методом напыления или методом испарения углеродных нитей позволяет добиться идеально воспроизводимых результатов в полностью автоматизированной системе. Если для анализа требуются оба метода, Leica предлагает комбинированный прибор со сменными головками в одном приборе.

Различные опции, такие как измерение на кварцевом кристалле, планетарное вращение, тлеющий разряд и сменное экранирование, могут быть применены в установке напыления в низком вакууме ACE200.